Materiale puro di titanio cilindrico dello zirconio dell'obiettivo TA1 farfugliare

Obiettivo aputtering del titanio del diametro 60/65/95/100*30/32/40/45mm

Obiettivo rotondo di titanio su misura dell'obiettivo di titanio

Forniremo solitamente un rapporto d'ispezione di qualità come questo le merci,

quale mostra la composizione chimica e le proprietà fisiche

Obiettivo quadrato di titanio del rifornimento, obiettivo rotondo di titanio, obiettivo a forma di speciale di titanio

La purezza è uno degli indicatori di efficacia principali dell'obiettivo,

perché la purezza dell'obiettivo ha una grande influenza sulla prestazione del film sottile.

I requisiti prestazionali principali dell'obiettivo:
purezza
La purezza è uno degli indicatori di efficacia principali dell'obiettivo, perché la purezza dell'obiettivo ha una grande influenza sulla prestazione del film sottile. Tuttavia, nelle applicazioni pratiche, i requisiti della purezza dell'obiettivo non sono gli stessi. Per esempio, con lo sviluppo rapido dell'industria della microelettronica, la dimensione della lastra di silicio è stata sviluppata da 6", 8" a 12' e la larghezza dei collegamenti è stata ridotta da 0.5um a 0.25um, a 0.18um o persino a 0.13um. Precedentemente, la purezza dell'obiettivo era 99,995%. Può soddisfare le richieste trattate di 0.35um IC, mentre la preparazione delle linee 0.18um richiede 99,999% o persino 99,9999% per la purezza del materiale di obiettivo.
Contenuto di impurità
Le impurità in solidi dell'obiettivo ed ossigeno ed umidità in pori sono le fonti principali di contaminazione per i film depositati. Gli obiettivi degli usi differenti hanno requisiti differenti dei contenuti di impurità differenti. Per esempio, gli obiettivi puri della lega di alluminio e dell'alluminio utilizzati nell'industria a semiconduttore hanno requisiti speciali del contenuto alcalino-metallico e del contenuto dell'elemento radioattivo.
densità
Per ridurre i pori nel solido dell'obiettivo e per migliorare la prestazione del film farfugliato, l'obiettivo è richiesto solitamente per avere un più ad alta densità. La densità dell'obiettivo colpisce non solo il tasso farfugliare, ma le proprietà anche elettriche ed ottiche del film. Più alta la densità dell'obiettivo, migliore la prestazione del film. Inoltre, aumentare la densità e la forza dell'obiettivo permette che l'obiettivo resista meglio allo stress termico durante farfugliare. La densità è inoltre uno degli indicatori di efficacia chiave dell'obiettivo.
Granulometria e distribuzione di granulometria
Il materiale di obiettivo è solitamente della struttura policristallina e la granulometria può essere per i micrometri ai millimetri. Per lo stesso materiale di obiettivo, il tasso farfugliare dell'obiettivo con le grane fini è più veloce di quello dell'obiettivo con i cereali a grana grossa; mentre la distribuzione di spessore del film sottile depositato farfugliando dell'obiettivo con la più piccola differenza di granulometria (distribuzione uniforme) è più uniforme.