99,999% elevata purezza che farfuglia il titanio elementare sperimentale di titanio dell'obiettivo Gr1

Titanio elementare sperimentale dell'obiettivo 99,999% dell'obiettivo di grande purezza di titanio farfugliare

Obiettivo rotondo di titanio su misura dell'obiettivo di titanio

Forniremo solitamente un rapporto d'ispezione di qualità come questo le merci,

quale mostra la composizione chimica e le proprietà fisiche

Obiettivo quadrato di titanio, obiettivo rotondo di titanio, obiettivo speciale di titanio di forma

La purezza è uno degli indicatori di efficacia dell'obiettivo.

La purezza del materiale di obiettivo ha un grande effetto sulla prestazione del film.

Requisiti prestazionali principali per gli obiettivi:

Purezza

La purezza dell'obiettivo è uno degli indicatori di efficacia principali dell'obiettivo perché la purezza dell'obiettivo notevolmente colpisce la prestazione del film. Tuttavia, nelle applicazioni reali, i requisiti della purezza del materiale di obiettivo non sono gli stessi. Per esempio, con lo sviluppo rapido della microelettronica l'industria che la dimensione della lastra di silicio è stata ampliata da 6", 8" a 12", la larghezza fissante è stata ridotta da 0,5 um a 0,25 um, a 0,18 um e a 0,13 um. Precedentemente, la purezza dell'obiettivo era 99,995%.

Contenuto di impurità

La fonte principale del film depositato è l'ossigeno e l'umidità dei solidi e dei pori dell'obiettivo. Gli obiettivi per varie applicazioni hanno requisiti differenti dei livelli di impurità differenti. Per esempio, gli obiettivi delle leghe pure di alluminio e di alluminio utilizzate nell'industria a semiconduttore hanno requisiti speciali del contenuto alcalino-metallico e del contenuto dell'elemento radioattivo.

Densità

Per ridurre i pori dei solidi dell'obiettivo e migliorare la prestazione dei film farfugliati, gli obiettivi devono tipicamente più densamente essere. La densità dell'obiettivo colpisce non solo il tasso farfugliare ma le proprietà anche elettriche ed ottiche del film. Più alta la densità dell'obiettivo, migliore la prestazione del film. Inoltre, quando la densità dell'obiettivo e l'intensità sono sollevate, l'obiettivo può resistere allo stress termico durante farfugliare. La densità è uno degli indicatori di efficacia dell'obiettivo.

Distribuzione per ampiezza e di granulometria

L'obiettivo è solitamente policristallino e la dimensione delle particelle può essere per i micrometri al millimetro. Nel caso dello stesso obiettivo, il tasso farfugliare dell'obiettivo a grana fine è più veloce del tasso farfugliare dell'obiettivo a grana grossa, mentre farfugli il deposito dell'obiettivo di dimensione delle più piccole particelle (distribuzione uniforme) ha una distribuzione uniforme di spessore (uniforme). Distribuzione.